シリコーンゴム接着層を利用したマイクロ流体体波篩一体型icの製造...
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シリコーンゴム接着層を利用したマイクロ流体体波篩一体型icの製造...
本製品は、マイクロトータルデータ解析システムの業界に分類され、特に、シリコーンゴムの接着層によるマイクロ流体体の波動篩一体型icの製造方法に関するものです。
環境の専門性。
マイクロ流体ハイエンドチップは、20世紀90年代に始まった、ほとんどが有機化学業界で使用し始めた、それは構造型としてのマイクロ安全チャネルであり、主な研究対象としての生物学は、マイクロエレクトロメカニカルエンジニアリングの生産工程(mems)によると、全体の実験室の役割は、分析速度が大幅に強化されているように、マイクロ統合されたICに統合されたサンプルの写真の準備処理、反射、分離、テストなどが含まれています、と 高速処理、低コストの実験試薬、低コストの生産、高効率の分析は、非常に普遍的な適用範囲と応用の見通しで、今日のマイクロデータ分析システムの科学的研究の鍵となります。
音波の波長以下の粒径を持つ形状の粒子では、静電容量グリッドなしで超音波定在波を合理的に操作することができます。 また、生きた微生物サンプルの音響材料検査と操作ステップの品質が高いため、マイクロ流体システムソフトウェアの科学的研究の新しいトレンドに変わります。 この段階では、マイクロ流体システムのソフトウェアでは、一般的に、マイクロネットワークアーキテクチャは、ウェットエッチングによってシリコンウェハなどの硬い原材料にイオン注入され、インテリジェントなレーザー発生器でウェハに穴が開けられ、その後、PDMS fabricationの形式に従ってシリコンウェハに合わせガラスが接着され、イオン注入された薄膜光学系を持つ音響周波数集積ICが製造されています。 数百万ドル相当の陽極酸化鉛の接合用機械設備を使用しているため、製造コストが高くなっています。 と、高温・高電圧のオフィス環境に遭遇し、検査員の身の安全を確保することができません。
技術的な完成度の高さ。
本製品が対処すべきプロセスの課題は、低コストで安全、信頼性の高い便利なマイクロ流体体の波のふるい分け統合されたic製造方法を作り、プロセス全体を簡単にする種類を与えることです。
本製品を完成させるための技術仕様は
上記のマイクロ流体体波篩統合ICは、スライド、定在波反射キャビティを含むシリコンウェハ、圧電セラミックウェハから構成されています。 上記のスライドは、あらかじめポリジメチルシロキサンの層でフライングされ、その後、プラズマボンディングマシンに従ってシリコンウェハの上面に接着されています。
実際のプロセスは以下のように構成されています。
1) 塩化第二鉄の水溶液をシリコンウェハに塗布し、必要な定在波反射部と必要なサンプルの出入口をエッチングする。
2) 圧電セラミックウェーハの両側に2本のデータ信号用ボンディングワイヤを配置し、圧電セラミックウェーハをウェーハの下端に接合する。
(3) スライドに定在波反射キャビティの入口と出口に合致する埋設穴を与えた後、ホモジナイザーによる高速回転下でスライドの片面にポリジメチルシロキサン(pdms)液状プレポリマーの層を投入し、乾燥固化した後、プラズマボンディングマシンによりシリコンウェーハの定在波反射部のある面に下向きに接着し、スライドのもう片面は合致する入口と出口の周囲にプラズマボンディングする。 スライドのもう一方の面は、断面の外周にポリジメチルジメチルシロキサンの層をプラズマ接合し、その上に気相用の穴と出口用の穴を作り、それぞれシリコンウエハー上の入口と出口と相互に作用させる。
集積ICの体波定在波は、シリコンウエハの底面に接着された圧電セラミックチップから出ており、その出力は自身の特性によって決定されます。 キーとなるデータ信号の硬さや周波数を調整することで、体細胞などの生きた微生物試料の分離が完了します。
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